1、廢氣預處理，為了避免催化劑床層的堵塞和催化劑中毒，廢氣在進入床層之前需進行預處理，以除去廢氣中的粉塵、液滴及催化劑的毒物。
2、預熱裝置，因為催化劑都有一個催化活性溫度，使廢氣和床層的溫度達到起燃溫度進行催化燃燒，設置預熱裝置。但對于排出的廢氣本身溫度較高的場合，不必設置預熱裝置。預熱裝置加熱后的熱氣可采用換熱器和床層內布管的方式。預熱器的熱源可采用煙道氣或電加熱。為保護催化劑，加熱裝置應與催化燃燒設保持距離。當催化反應開始后，可盡量以回收的反應熱來預熱廢氣。在反應熱較大的場合，還應設置廢熱回收裝置。預熱廢氣的熱源溫度一般都超過催化劑的活性溫度。
3、預熱裝置加熱后的熱氣可采用換熱器和床層內布管的方式。預熱器的熱源可采用煙道氣或電加熱，目前采用電加熱較多。當催化反應開始后，可盡量以回收的反應熱來預熱廢氣。在反應熱較大的場合，還應設置廢熱回收裝置，以節約能源
4、固定床催化反應器。反應器的設計按規范進行，應便于操作，維修方便，便于裝卸催化劑。
催化燃燒工藝具體是通過去除廢氣內的有害物質再通過預熱催化來完成處理工作，通過上述方式能夠有效降低處理完成產生二次污染的可能性，且能夠回收利用處理掉的廢氣，從而提高收益。
