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該復合型有機廢氣處理設備分為等離子分解和紫外線光解兩個區，將等離子裝置布置在光解設備的前段，離子裝置產生的臭氧與有機廢氣混合后，流經紫外線燈管，紫外線燈管能進一步地觸發臭氧的生成，同時再經過燈管254nm紫外線的催化作用，臭氧與有機物的反應效能大幅提升，從而取得很好的處理效果。    

等離子分解區：采用了獨特的吸附-分解-碳化工藝技術設計，無需再生處理原料，無需專人負責，不產生二次污染。采用脈沖高壓高頻等離子體電源和齒板放電裝置，使其產生高強度、高濃度、高電能的活性自由基，在毫秒級的時間內，瞬間對經過UV光解區進入等離子分解區的氣體內殘留的有害分子進行氧化還原反應，將廢氣中的污染物降解成二氧化碳和水及易處理的物質。

UV紫外線光解區：利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射惡臭氣體，改變惡臭氣體，如氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、四硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S、VOC類、苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。再分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧。因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。眾所周知，臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它感激性異味有立竿見影的清除效果。有機惡嗅氣體通過本區后，凈化運用高能UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧氧化反應。